洁净厂房设计规范
Code for design of clean room
GB 50073-2013
主编部门：中华人民共和国工业和信息化部
批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部
施行日期：2013年9月1日
中华人民共和国住房和城乡建设部公告
第1627号
住房城乡建设部关于发布国家标准《洁净厂房设计规范》的公告
现批准《洁净厂房设计规范》为国家标准，编号为GB 50073-2013，自2013年9月1日起实施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7条（款）为强制性条文，必须严格执行。原国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001同时废止。
本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部
2013年1月28日
前言
本规范是根据原建设部《关于印发<2002-2003年度工程建设国家标准规范制订、修订计划>的通知》（建标函〔2003〕102号）的要求，由中国电子工程设计院会同有关单位共同对《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001修订而成。
本规范在修订过程中，修订组结合我国洁净厂房设计建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究和测试，认真总结了《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001多年来实施的经验，广泛征求了全国有关单位的意见，最后经审查定稿。
本规范共9章和3个附录，主要内容包括：总则、术语、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业管道、电气等。
本规范主要的修订技术内容是：修改了第2章术语；对第3章空气洁净度等级的相关内容作了修改和补充；修改了第8章，更名为“工业管道”；修改了部分“强制性条文”为“非强制性条文”。
本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。
本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院负责具体技术内容的解释。在本规范执行过程中如有意见或建议，请寄送中国电子工程设计院（地址：北京市海淀区万寿路27号，邮政编码：100840，传真：010-68217842），以便今后修订时参考。
本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人：
主编单位：中国电子工程设计院
参编单位：信息产业部第十一设计研究院科技工程股份有限公司 中国石油化工集团上海医药工业设计院 中国建筑科学研究院
主要起草人：陈霖新 张利群 王唯国 缪德骅 晁阳 赵海 俞渭雄 周春海 秦学礼 谭易和 贺继行 肖红梅 樊勖昌 张彦国 黄德明 牛光宏 冷捷敏 冯佩明
主要审查人：涂光备 薛长立 王宗存 张洪雁 施红平 李兆坚 叶鸣 孙志华 万桐良
1 总则
1．0．1 为了使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求，做到技术先进、经济适用、安全可靠，确保洁净厂房设计质量，制定本规范。
1．0．2 本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。
1．0．3 洁净厂房设计应是施工安装、维护管理、检修测试和安全运行的基础。
1．0．4 洁净厂房设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语
2．0．1 洁净室 clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2．0．2 洁净区 clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。
2．0．3 移动式洁净小室 mobile clean booth
可整体移动位置的小型洁净室。有刚性和柔性材料围挡两类。
2．0．4 人身净化用室 room for cleaning human body
人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2．0．5 物料净化用室 room for cleaning material
物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2．0．6 粒径 particle size
给定的粒径测定仪所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。
2．0．7 悬浮粒子 airborne particle
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
2．0．8 超微粒子 ultrafine particle
具有当量直径小于0.1μm的粒子。
2．0．9 微粒子 microparticle
具有当量直径大于5μm的粒子。
2．0．10 粒径分布 particle size distribution
粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。
2．0．11 含尘浓度 particle concentration
单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2．0．12 洁净度 cleanliness
以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
2．0．13 气流流型 air flow pattern
对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。
2．0．14 单向流 unidirectional airflow
通过洁净室（区）整个断面的风速稳定、大致平行的受控气流。
2．0．15 垂直单向流 vertical unidirectional flow
与水平面垂直的单向流。
2．0．16 水平单向流 horizontal unidirectional flow
与水平面平行的单向流。
2．0．17 非单向流 non-unidirectional flow
送入洁净室（区）的送风以诱导方式与室（区）内空气混合的气流分布类型。
2．0．18 混合流 mixed airflow
单向流和非单向流组合的气流。
2．0．19 洁净工作区 clean working area
除工艺特殊要求外，指洁净室内离地面高度0.8m～1.5m的区域。
2．0．20 空气吹淋室 air shower
利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。
2．0．21 气闸室 air lock
设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2．0．22 传递窗 pass box
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧装有不能同时开启的窗扇。
2．0．23 洁净工作台 clean bench
能够保持操作空间所需洁净度的工作台。
2．0．24 洁净工作服 clean working garment
为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。
2．0．25 空态 as-built
设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。
2．0．26 静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。
2．0．27 动态 operational
设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
2．0．28 已装过滤器检漏 installed filter system leakage test
为确认过滤器安装良好、没有向洁净室（区）的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。
2．0．29 高效空气过滤器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
在额定风量下，对粒径大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9％以上的空气过滤器。
2．0．30 超高效空气过滤器 ultra low penetration air filter (ULPA)
在额定风量下，对粒径0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999％以上的空气过滤器。
2．0．31 纯水 purity water
对电解质杂质含量和非电解质杂质含量均有要求的水。
2．0．32 防静电环境 antistatic environment
能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。
2．0．33 表面电阻 surface resistance
在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商。
2．0．34 体积电阻 volume resistance
在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。
2．0．35 表面电阻率 surface resistivity
在材料表面层的直流电场强度与稳态电流线密度之商。
2．0．36 体积电阻率 volume resistivity
在材料内层的直流电场
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