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《特种气体系统工程技术规范》GB50646-2011PDF文本

UDC中华人民共和国国家标准PGB50646-2011特种气体系统工程技术规范Code for technical of speciality gas system engineering(报批稿)J.NEXXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施中华人民共和国住房和城乡设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局興尚理筑素前阀Z..ET
中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术规范Code for technical of speciality gas system engineeringGB XXXXX-XXXX主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡设部施行日期：XXXX年XX月XX日中国计划出版社XXXX北京置素前网Z.Z0
前言本规范是根据原设部《关于印发(2006年工程设标准规范制订、修订计划（第二批）》的通知》（标[2006]136号）的要求，由信息产业电子第十一研究院有限公司会同有关单位共同编制完成。本规范在编制过程中，编写组根据我国特种气体系统各类站房的设计、造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究，同时考虑我国特种气体的技术来源情况，对国外的有关规范进行了研读，并在全国范围内广泛向有关单位或个人征求意见，最后经审查定稿。本规范共13章和4个附录。主要技术内容包括：总则、术语、特种气体站房、特种气体工艺系统、硅烷站、特种气体输送、筑结构、电气与防雷、生命安全系统、给水排水及消防、采暖通风与空气调节、特种气体工程施工、特种气体系统验收等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由信息产业电子第十一设计研究院有限公司负责具体技术内容的解释。在执行本规范的过程中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄至信息产业电子第十一设计研究院有限公司（地址：四川成都市双林路251号，邮政编码：610021,传真：028-84333172，E-mail:edril1@cdi.cm),以供今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、参加单位、主要起草人员和主要审查人员：主编单位：信息产业电子第十一设计研究院有限公司一中国电子系统工程第二设有限公司参编单位：兴上海正帆超净技术有限公司闪中国电子工程设计院中国电子科技集团公司第五十八研究所上海华虹NEC电子有限公司成都爱德工程有限公司参加单位：上海兄弟微电子技术有限公司主要起草人员：李骥王开源薛长立杜宝强黄勇李东升江元升欧华星张家红夏双兵陆崎李少洪王凌旭张强顾爱军陈奕弢崔永祥主要审查人员：陈霖新阚强万铜良陈关夫汤有纶周礼誉侯文川杨琦丁柯Z.Z沁.E]
目次1总则2术语。23特种气体站房，.53.1一般规定53.2特种气体站房分类53.3特种气体设备的布置64特种气体工艺系统.….74.1一般规定….74.2特种气体输送系统.….74.3吹扫和排气系统..85硅烷站…105.1硅烷站工艺系统.105.2硅烷站的布置…105.3安全技术措施125.4采暖通风与空气调节，125.5消防系统.136特种气体管道输送系统.…146.1一般规定.146.2材料选型.146.3管道设计146.4f标当筑子?SE.157筑结构..178电气与防雷.188.1配电与照明…188.2防雷与接地9生命安全系统….199.1特种气体管理系统199.2特种气体探测系统.199.3安全设施.209.4特种气体报警的联动控制.2010给水排水及消防」2110.1给水排水2110.2消防…2111采暖通风与空气调节.….2211.1采暖通风…2211.2空气调节.…2212特种气体系统工程施工.2312.1一般规定.2312.2主要设备、材料进场验收2312.3气瓶柜与气瓶架的安装…2412.4阀门箱与阀门盘的安装2512.5特种气体管道安装…2512.6特种气体管道改扩工程施工…28興尚理罚素前网ZC.NE1
12.7特种气体系统的检验.。2912.8尾气处理装置的安装.2912.9生命安全设施安装…2913特种气体系统验收.…。.3013.1一般规定….3013.2设备验收..3013.3管路与系统验收.3013.4气体探测/监控系统验收31附录A特种气体管道氦检漏方法33附录B特种气体系统验收测试记录表34本规范用词说明.。.39引用标准名录…40附：条文说明...41J.NE興尚理筑素前阀Z.ZC.ET
Contents1General provisions.…2Pm3Speciality gases room..53.1 General requirement.3.2 Specialty Gases room classification..........53.3Gases Equipment layout64 Process system of speciality gases..........4.1General requirement.4.2 Pipeline system of speciality gases...........4.3 Purge and vent system.....................85 Silane station.....105.1 Silane process system...................105.2 Silane station layout.....................105.3 Safety technology methods........125.4 HVAC.125.5 Fire protection system....................136 Pipeline of speciality gases......................146.1 General requirement...146.2Materials selection..……146.3 Pipeline design,盒个4nm.146.4 Pipeline labeling.....157 Architecture and structure.....178Electrical and lightning protection........188.1 Power distribution and lighting..188.2 Lightning protection and grounding..189 Life safety System.99.1 Management system of speciality gases......199.2 Detection system of speciality gases199.3Safety provis1ons.......209.4 Inter control of gases alarm.................2010 Water supply drainage and fire protection...........2110.1 Water supply drainage..................2110.2 Fire protection211.1 Heat and ventilation..2211.2 Air conditioning....2212 Engineering construction of speciality gases system.....2312.1 General requirement.......2312.2 Site acceptance of main equipment and materials.312.3 Installation of GC and GR...2412.4 Installation of VMB and VMP.........25理筑素前阀Z.ZC.ET
12.5 Installation of speciality gases pipeline...............2512.6 Engineering construction of revamp and expansion project of speciality gases2812.7 Inspection and acceptance of speciality gases pipeline system.................2912.8 Installation of exhaust gases local scrubber facilities............................2912.g Life safety13 Inspection and acceptance of speciality gases system.....................................3013.1 General requirement................3013.2 Inspection and acceptance of equipment3013.3 Inspection and acceptance of pipeline system................................3013.4 Inspection and acceptance of gases detection/monitoring system...............31Appendix A:Helium test leakage of speciality gas..................333Appendix B:Test record table of system acceptance............344Explanation of Wording in this code....39List of quoted standards..40Addition:explanation of provisons....412理筑素前阀Z.ZC.ET
1总则1.0.1为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全，做到安全适用、技术先进、经济合理、环境友好，制定本规范。1.0.2本规范适用于新、改和扩的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收：不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。1.0.3特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本规范的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。1理筑素前阀Z.ZC.ET
2术语2.0.1特种气体specialily gas电子产品生产的、掺杂、外延、离子注入、刻蚀等工艺中使用的自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。2.0.2特种气体系统speciality gas system是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。2.0.4硅烷站silane station是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、Y型钢瓶、长管拖车或IS0标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立筑物、构筑物或区域。2.0.5数据采集与监视控制系统supervisory control and data acquisition(SCADA)是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。2.0.6工厂设各管理控铜系统凡faci1 ity management control system(FWCs)工厂公用设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。2.0.7大宗硅烷系统bulk silane system是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车(T/T)、IS0标准集装瓶组，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。2.0.8大宗特种气体系统一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系统。2.0.9液态特种气体系统是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。2.0.10气瓶集装格the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接并联组合的气体钢瓶组单元。2.0.11IS0标准集装瓶组IS0 module按国际标准组织(IS0)要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称。2.0.12气瓶柜gas cabinet (GC)特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。2.0.13气瓶架gas rack (GR)特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。3理筑素前网Z.
2.0.14阀门箱valve manifold box(WMB)特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2.0.15阀门盘valve manifold panel(WMP)特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2.0.16低蒸汽压力气体low vapor pressure gas在室温下的饱和蒸气压小于0.Pa的气体。2.0.17尾气处理装置1 ocal scrubber自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。2.0.18气体探测系统gas detector system(GDS)设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供探测数据的系统。2.0.19气体管理系统gas management system(GMS)包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的气体管理与拉铜系绕的统核筑J.N上2.0.20开散式筑open area立柱和墙面遮挡部分的面积小于外围面积25%的筑。2.0.21不相容性incompatible不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。2.0.22卧式气瓶horizontal cylinder用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L,1000L。2.0.23自燃性气体pyrophoric gas常温下在空气中会发生自动燃烧的气体。2.0.24可燃性气体f1 ammable gas指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。2.0.25毒性气体toxic gas半数致死浓度超过200ppm但不超过2000ppm的气体。2.0.26剧毒性气体virulent gas半数致死浓度不超过50ppm的气体。2.0.27腐蚀性气体corrosive gas是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏的气体。興尚理筑素前网Z.Z沁.NE]
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